Механизм влияния Nd на прочностные характеристики монокристаллов кремния

摘要

Исследованы прочностные характеристики кремния, легированного редкоземельными элементами. Показано, что дисперснораспределенные атомы лантаноидов снижают микротвердость кремния. Преципитация редкоземельных элементов приводит к упрочнению монокристаллов, обусловленному генерацией дислокаций. Скопления редкоземельных элементов оказывают существенное влияние на прочностные характеристики монокристаллов при концентрациях примеси свыше 10~(17) см~(-3).