МИНИАТЮРНАЯ СИСТЕМА ИЗМЕРЕНИЯ УГЛОВОЙ СКОРОСТИ НА ВИБРАЦИОННОМ МЭМС-ГИРОСКОПЕ С РАЗВЯЗКОЙ ПРИВОДНОЙ И СЕНСОРНОЙ ЧАСТЕЙ

摘要

Микроэлектромеханические системы (МЭМС) с вибрационными гироскопами, имеющими малые габариты, массы и невысокие стоимости, стали разрабатываться с начала 90-ых гг. прошлого века. В течение последнего десятилетия их технические характеристики были существенно улучшены. При этом появились потребности их применения в военных тактических системах. Основными функциональными узлами этих приборов являются вибрационные кориолисовы сенсоры инерционного типа, изготавливаемые по микромашинной технологии. Одной из трудностей их разработки является снижение перекрестных механических связей между приводной и сенсорной частями, которые создают значительные дополнительные погрешности. Влияние этих перекрестных связей снижается при использовании в схеме гироскопа устройства фазовой автоподстройки выходных сигналов. Однако применение этого метода не обеспечивает достаточных стабильности нулевых показаний и чувствительности прибора.