マイクロ放電加工－放電加工を援用した機械的マイクロ加工

摘要

切削加工や研削加工などの機械的加工法は，加工速度や形状精度仕上げ面粗さや加工コストなどに優れており広く用いられている．工具形状および工具軌跡が工作物に転写される転写加工であるため，微細な穴や溝などの凹形状を加工する場合には小径工具が必要となる．切削工具においては直径10-30μm程度までの極小径ドリルやエンドミルが市販されており，微細凹形状のマイクロ加工が可能となっている．しかし，このような極小径工具は折損しやすく，価格も1本数万円程度するものもあり，工具コストが高くなる．また，さらに小径の工具を入手することが難しく，内径や溝幅が10μm未満の穴あけ加工や構加工を行えない．