太陽電池用多結晶シリコンのワイヤ放電スライス加工

摘要

本研究では，太陽電池用多結晶シリコンに対するワイヤ放電加工についてさらに詳しく報告した上で，厚さ150mmのシリコンブロックに対するワイヤ放電スライス加工を実証するとともに，スライスしたウエハを太陽電池セルとする際に必要となるウエハ強度の達成方法と表面コンタミネーションの除去方法を検討する．さらに，放電スライスされたウエハを用いた太陽電池セルを試作して変換効率が従来セルと遜色ない性能を有することを確認し，ワイヤ放電加工が太陽電池用シリコンスのライス加工法として適用可能であることを明確化する．