ナノ加工領域に挑戦する放電加工

摘要

ナノ加工が将来の最先端技術を担う重要な加工技術と位置づけられ，多くの大学，研究機関や企業などで研究が進められている．当社でも切削·研削加工法を用いた機械加工機（図1参照）において5年以上前からナノ加工を実現し，すでに光学部品用の金型加工として販売実績を有している．ここでナノ加工と言っているのは2桁ナノメートルオーダの加工精度で加工できることを言い，加工面粗度としてはさらに細かい加工ができないとナノ加工は実現しない．しかし切削加工や研削加工では，高硬度材に対するナノ加工において形状的な制限が多く，確実にナノ加工ができるという状況にはない．