最上位機種：リニアモータ駆動小型超精密ワイヤ放電加工機－リニアモータと静圧空気軸受の融合

摘要

放電加工機をはじめとする工作機械では，機械の心臓部ともいえる加工軸の構成により，その加工機の性能は大きく左右される．加工軸案内部には直動ころがり軸受のレールを利用し、駆動伝達部にはモータ回転＋丸軸（ボールネジなど）の伝達方式を利用することが一般的な加工軸構成である．この構成の場合，当然ながら案内部，駆動伝達部の軌道形式ともその転動面は接触式であり，摩擦による位置決め精度の課題や，耐経年変化の課題が残されることは否めない．