世界初！ GaNパワー半導体を搭載した アンプ内蔵サーボモータの開発

摘要

当社ではガリウムナイトライド（GaN)やシリコン力一パイド（SiC)パワーデパイスを搭載した電力 変換装置に向けて，それらパワーデバイスの駆動回路や周辺技術の開発に取組hでいる。今回.サーポアン プ部にGaNパワーデパイスを適用し，サ一ポアンプとサーボモータを一体化したアンプ内蔵サーポモータ を開発した。そしてGaNパワーデパイスを搭載したアンプ内蔵サ一ポモータ技術の独創性，製造装置全体 の小型化，省配線による費用削減への貢献が評価され，第65回電気科学技術奨励賞を受賞した。