ロング昇降ストローク半導体ウエハ搬送ロボット

摘要

当社は，半導体ウエハ搬送システムの開発期間短縮や搬送システム構築の自由度向上を狙いとして，ウエハ搬送ロボットや周辺機器の標準化·モジュール化を展開している。このようななか，クリーンロボットSEMISTAR-Mシリーズなどユーザーが必要なモジュールを選択してウエハ搬送システムを構築できるモジュラーシステムを製品化している。本稿では，新たにSEMISTAR-Mシリーズのラインアップとして開発した超ロングストロークの昇降軸を有し，かつ平面内の動作範囲も広く，高速動作も可能なクリーンロボットSEMISTAR-M102について，その仕様，特長と装置への適用例について紹介している。