新石器時代を切り拓く酸化物エピタキシーの精密化と集積化が可能にする新しいエレクトロニクス

摘要

金属酸化物には、従来の半導体や金属には不可能で非常に多様な電子機能がある。 固体物性研究の主役に登りつめ、半導体の牙城である電子工学に切りこもうとしている。 その背景には、固体化学をベースとする精緻な合成技術の進歩があった。 焼き固めたセラミックスから原子レベル制御した単結晶薄膜へと舞台を移し、金属酸化物が主役となる新しいエレクトロニクスの胎動が聞こえる。