特集にあたって機能性プラズマの科学とその先端応用技術

摘要

機能性プラズマは，環境浄化，計測，空気晴軌材料合成，ナノテクノロジーなどさまざまな分野で応用されている。エアロゾル分野においても，プラズマは稜々の用途に利用されており，本誌でも1995年に「プラズマプロセス微粒子」と超して，プラズマ中の微粒子の単軌，半導体プロセス（特にプラズマCVD）における発塵や微粒子材料の製造，ならびに空気浄化への応用を議論してきた。 また，第22周エアロゾル科学·技術研究討論会では，「機能性プラズマによる気相反応とその応用」（オーガナイザー二大阪府立大学·山本俊昭氏）と贋してシンポジウムを開催し，液新の研究成発に関する8件の口頭発家カチあり，特発な談論が行われた。