クリーンルーム環境におけるHDDディスク基板へのSO_2ガスの吸着特性

摘要

ハードディスクドライブ（以下HDD）は，最近まで記憶容量をおおよそ年100％の増加率で拡張させてきた。 その結果，現在では数百Gバイトの記憶容量を持つものまで登場し，パーソナルコンピュータばかりではなくビデオに代表されるオーディオ?ビジュアル製品やカーナビゲーションシステムなどの製品にまで搭載されるようになってきた。 記憶容量が増加するに伴い，磁気ディスク（以下HDと称する）と磁気ヘッド（以下ヘッドと称する）双方の隙間（浮上量）は年々微小になり，現在では数nmオーダになりつつある。 ニの浮上量が微小になればなるほど，HD表面への汚染が重要な障害要因となる1）。 IDEMA（国際HDドライブ協会）では，HDD関連産業における極微量の物質による表面汚染を，マイクロコンタミネーションと呼hでおり，4つのカテゴリ（酸?重金属，不揮発性碓連，凝縮性の有機物，微粒子）に分類されている2）。