Локальное ионное азотирование конструкционной стали мартенситного класса в плазме тлеющего разряда с полым катодом

摘要

Проведено зондовое исследование плазмы тлеющего разряда по схеме одиночного цилиндрического зонда Ленгмюра при давлении 60 Па в газовой смеси. Определено распределение плотности заряженных частиц в полости, образованной технологическим экраном для создания эффекта полого катода и поверхностью материала. Изучено влияние локального ионного азотирования в плазме тлеющего разряда с полым катодом на структуру и микротвердость диффузионного слоя конструкционной стали 16ХЗНВФМБ-Ш. Исследовано влияние длительности процесса ионного азотирования в плазме тлеющего разряда с полым катодом на толщину упрочненной зоны материала. Обнаружено, что в результате локального ионного азотирования на поверхности материала образуется три зоны, при этом толщина диффузионного слоя в зоне, модифицированной плазмой с эффектом полого катода, в два раза больше, чем в зоне, модифицированной без эффекта полого катода.