Импульсное лазерное осаждение наноструктурированных композитных покрытий--Ш--Моделирование атомной структуры

摘要

Кинетическим методом Монте-Карло проведено моделирование формирования структуры тонкопленочных покрытий при физическом осаждении атомов. Рассмотрено влияние угловой диаграммы потока осаждаемых атомов и их миграции в условиях ионной бомбардировки на плотность и рельеф поверхности формирующегося покрытия. Модель описывает экспериментально наблюдаемые особенности структурного состояния покрытий, формируемых методом импульсного лазерного осаждения атомов в условиях их рассеянии на молекулах инертного газа или при ионной бомбардировке.