Воздействие ионов ксенона на систему Ti-Zr-N

摘要

Изучено влияние облучения ионами Xe~(18+) (360 кэВ, 8?10~(14) см~(-2)) на структуру и механические свойства Ti_(1-x)Zr_xN (0 < = х < = 1) покрытия толщиной ～300 нм, нанесенного на Si подложку методом магнетронного распыления. Установлено, что облучения повышает твердость тройного Ti-Zr-N твердого раствора. Характер изменения электросопротивления облученных покрытий зависит от их состава. Отмечена более высокая, чем у мононитридов, радиационная стойкость покрытий на основе тройной системы Ti-Zr-N.