Энтропийные модели и критерии оценки качества обработки материалов в микро- и ианотехнологиях

摘要

Технологические процессы создания технических устройств рассматриваются как комплекс мер, направленных на повышение вероятности размещения атомов определенного типа в заданных точках физического пространства. Вероятностный подход реализован с использованием методологии теории информации. Предложены энтропийные модели и критерии оценки качества обработки материалов, позволяющие сформулировать требования к технологическим процессам в зависимости от сложности и выхода годных изделий. Введены понятия информационного потенциала и дефицита технологии. Приведены результаты количественных оценок энтропийных показателей качества современных микро- и нанотехнологий.