Формирование тонких газочувствительных оксидных пленок смешанного состава, легированных серебром

摘要

Описаны процессы формирования тонких газочувствительных оксидных пленок смешанного состава, легированных серебром, из раствора тетразтоксисилана, хлорида олова (IV) и нитрата серебра. Измерены температурные зависимости электросопротивления пленок, исследованы структура, элементный и фазовый состав пленок, чувствительных к сероводороду