Осаждение углеродо- и титансодержащих нано- и микрочастиц из низкотемпературной плазмы дугового разряда

摘要

Методами РЭМ и гранулометрического анализа исследованы морфология, элементный состав и распределение по размерам частиц, полученных при электродуговом распылении титана в среде азота и ацетилена.