方形コアレーザーガイドの開発

摘要

薄膜型太陽電池やフラットパネルディスプレイ分野ではレーザーによる加工が盛hに行われており，使用するレーザーの集光パターンが方形のトップハットビームとなることで加工形状の高品質化，加工速度の高速化が可能となる。そこで今回，複数の樹脂クラッド型および全石英型の方形コアファイバを開発し，その集光ビームが均一なトップハットビームとなっていることを確認した。さらに両端末部にコネクタを取り付けたレーザーガイドについて，機械特性とレーザー耐性について評価した。