耐紫外線用耐熱光ファイバの開発

摘要

紫外用光ファイバに紫外線を照射することにより，深紫外域(DUV: Deep Uitraviolet radiation)における透過率低下が発生する。 近年，紫外における利用波長がDUV領域に及び，上記透過率低下が問題となっていた。 このたび，DUV領域における耐紫外線特性を向上させた耐熱光ファイバの開発を行い，重水素ランプおよびArFエキシマレーザ照射における耐紫外線特性の評価を行った。重水素ランプ照射(0.21mW/cm{sup}2＠250nm)では，照射時間1,000時間において透過光量比70％/3m（初期値を100％とする）を維持する良好な改善結果を得た。 ArFエキシマレーザ照射(12mJ/cm{sup}2/pulse)では，1.2×10{sup}7パルスにおいて，透過光量比約54％/1mを得た。