マイクロ加工プロセス別比較と選択基準：パワーモジュールのワイヤボンド部およびはhだ付部の信頼性

摘要

本稿ではこのような市場要求に対して，パワーモジュールの信頼性に関して，とくにワイヤボンド部，はhだ付部の設計に関して述べる。さらに，より高い信頼性を確保するための構造に関しても紹介する。