微小領域における接触熱抵抗の計測に関する研究

摘要

本研究では，微小領域の接触熱抵抗の測定を目的としてSiO_2球を用いてセンサーを作成し、表面粗さがナノオーダーであるSiに球を接触させることで微小領域の接触を実現して接触熱抵抗の測定を行った．単位面積当たりで過去の研究と比較すると，大きな値の実験結果となったものの，今回作成したセンサーは接触熱抵抗の測定には有用であることが実証された．