大気圧プラズマクリーニング装置「Aiplasmaスーパースリム」－フラットパネルの端子部·電極部洗浄が大気圧下で可能

摘要

現在、家庭用大型フラットディスプレイやPDAなどに代表される液晶·プラズマディスプレイなどのFPD（フラットパネルディスプレイ）市場では、高品質·高画質表示が要望されており、ファインピッチ化が進hでいる。 また、表示部のファインピッチ化、接合部のファインピッチ·小型化、ガラス面への実装·フイルム基板への回路搭載などの新技術が開発·応用されており、ディスプレイ接合面の「接合信頼性」·「接合強度アップ」への要望が高まっている。