積層圧電アクチュエータで駆動するマイクロロボット－ナノメートルオーダの微細作業をさせる

摘要

操作対象物のサイズが極めて小さくなると、従来サイズの機械システムだけでこれを取り扱うことは難しい。 これは熱膨張や振動などの影響が無視できなくなり、またこれらの影響を除去するための機構や設備が大がかりになるからである。そのため機械そのものを小さくして微細作業機能を付加させる考えは自然であり、近年、多くの試みが実施されている。 既にその可能性だけでなく、実用性を考慮したシステムも出現している。 その代表的な試みとして、大型国家プロジェクトの1つとして取り組まれたマイクロファクトリが知られている。