薄型高速回転超音波スピンドルモータ＝超音波モータの新たな応用技術を目指して

摘要

本研究は、従来、電磁モータが主に使用されているマイクロフアンやディスクドライブ装置などの高速回転、長時間の連続動作が要求される分野において、超音波モータの応用の可能性を探ることを目的とする。高速回転を得るためには突っつき型超音波モータが適している。 薄型振動子せ用いて、電磁モータでは製作が容易でない、厚さ1mm未満の超音波モータで回転数5,000rpm以上の性能の実現を試みる。 本報告では、有限要素法により振動子形状の設計を行い、試作特性の測定結果について述べる。