輪郭振動型AlN振動子の高Q化：Mo/AlN/Mo構造輪郭振動型振動子の形状とQ値の関係

摘要

高いk~2と高いQ値を実現可能とする輪郭振動型振動子を目的に、振動子の支持部が弾性振動の影響を受けない音叉構造を提案。作製プロセスの最適化による共振器形状の改善効果により、k~2とQ値の積であるFOMが反共振周波数で94と良好な電気特性を実現。