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【24h】

さまざまなNi電極構造によるSAW磁気センサ:Niから成るすだら状電極を用いたSAW共振子の感度について

机译:根据各种镍电极结构SAW磁传感器:所述SAW谐振器的与Suda等形电极的灵敏度由Ni制成

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摘要

水晶基板上にNi電極がある構造)に加え、Ni電極が基板内に埋め込まれた構造やさらにその上にNiが付加された構造の磁気センサ用SAW共振子を作成し、それら磁気感度について検討した。
机译:除了在石英衬底上具有Ni电极的结构之外,其中产生Ni电极的结构,其中产生Ni电极的结构和具有在其上添加Ni的结构的磁传感器的结构,并且考虑磁敏度底部。

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