Ti製受音膜の裏面に水熱合成PZT多結晶膜を成膜した堅牢な耐音響キャビテーション·ハイドロホン：等価回路を用いた受波感度の周波数特性改善の検討

摘要

Ti製受音膜の裏面に水熱合成PZT多結晶膜を成膜して、超音波洗浄機やHIFU治療装置の集束音場のようなキャビテーションの発生を伴う強力超音波音場でも壊れずに計測可能な耐音響キャビテーション·ハイドロホンを開発している。受波感度の周波数特性に問題があり、強力超音波音場にも関わらずハイドロホンの出力波形は、非線形歪みを再現できなかった。等価回路を用いた数値計算に基づいて特性解析を行った結果、Ti膜の厚さを現在の50μmかち5μmにすることが望ましいとわかった。