PZT薄膜を用いた縦振動プローブセンサ：振動子の特性と接触検出分解能の評価

摘要

本研究の最終的な目的は、AFMなどのSPMに準ずるサブナノの分解能を持ち、0.1mN以下と表面粗さ討よりも測走力が低く、数mm角程度の範囲で形状測定を行え、工作機械で加工中の物体や液中の試料等の形状測定が可能な形状測定システムを構築することである。 こうした目的で、縦振動を利用した振動形接触センサが開発されている。 このような振動形センサを実現するためには、圧電薄膜の利用が効果的であり、これまで水熱合成法によるPZT薄膜を用いた加振形接触センサの研究を進めてきた。