2010年の技術と成果：薄膜コーティング装置およびコーティング事業

摘要

この事業統合により、日本ITFでは装置、プロセス開発から膜開発までを一貫して行なえる体制が整い、その結果、お客様にとってより付加価値の高い装置の提供、コーティング受託加工のサービスが可能となった。今回その第1弾としてFVA （Filtered Vacuum Arc）装置の製造販売と、それを応用した受託サービスを開始した。本装置は、日新電機技術開発研究所がかねてより開発を進めていた新しい成膜方式のPVD装置であり、日本ITFに譲渡後、開発を継続し製品化·実用段階に達したものである。このFVA装置の応用分野や、装置などについての2010年の主な成果を以下に報告する。