Определение удельного электрического сопротивления режущей двухслойной пластины на основе cBN с использованием цифровых методов растр

摘要

Рассмотрены методические особенности измерения удельного электрического сопротивления композиционного материала, созданного на основе кубического нитрида бора cBN, с использованием зонда растрового электронного микроскопа. Исследовано изменение интегрального удельного сопротивления режущей двухслойной пластины при переходе от подложки из твердого сплава ВКб к композиционному слою, содержащему фазы cBN, TiN, AlN, а также в локальных участках композита. Равномерное распределение удельного электрического сопротивления по поверхности композита свидетельствует об однородности материала и может быть использовано при тестировании качества структуры режущего слоя.