Исследование состояния поверхностей обрабатываемой детали и инструмента в процессе полирования неметаллических материалов

摘要

В результате исследования оптических постоянных обрабатываемого материала in situ при полировании показано, что коэффициенты поглощения и отражения света возрастают при уменьшении разности фаз колебаний взаимно перпендикулярных компонент электрического вектора луча, который дважды прошел через толщу образца, отразившись от обрабатываемой поверхности. Получены экспериментально и аппроксимированы периодическими функциями зависимости оптических постоянных обрабатываемого материала от времени полирования. Установлено, что периодические изменения оптических постоянных обрабатываемого материала и состояния поверхности рабочего слоя инструмента связаны с образованием напета.