クリーンルームの運転·保守管理技術--清掃·メンテナンスにおけるTrouble Shooting

摘要

「異物混入」という言葉で，すぐ頭に思い浮かぶことは，カンヅメから異物が，パンから異物が，飲み物から異物がみつかった，等の異物混入の問題。 古くから問題になっていて未だに完全解決されていない。 これらの「異物」は私にとっては，大きなサイズの異物で眼にみえる異物混入の問題でまだ対策がたてやすい。 幣研究室で取り扱っている異物（Contaminations/Contaminants）は眼にはみえないSubmicron，nmサイズの異物であり，感覚的にすぐ認知出来ないところに，この異物混入問題と汚染防止·管理技術が存在しているので，受け入れに努力が必要になってくる分野である。 「ナノテクノロジー」という文字が毎日のように新聞紙上をにぎわし，よく見聞するところである。