MEMSジャイロセンサの動向と展望--浮上回転型マルチ出力マイクロ慣性センサを中心に

摘要

角速度，加速度を計測する慣性センサは用途も軍事用が多く，高価で特殊なセンサと認識されがちであった。 しかし，最近のMEMS技術の進展に伴いマイクロ化·低コスト化が図られてきた結果，自動車用のみならずデジタルカメラ等の一般民生用途にも大量に使用され，身近なセンサとなった。