非接触MEMS駆動を目指したマイクロ電磁界共鳴電力伝送回路に関する研究

摘要

広い分野に応用されるMEMSデバイスを非接触で駆動することは、デバイスの自律性や破損しやすいデバイスの代替の簡便さ等において大きな意義がある。本報告ではミリメートル以下の大きさであるMEMSデバイスと同程度の大きさをもつインダクタを用いて電力伝送を行うことをねらいとし、基幹素子であるマイクロインダクタの最適なレイアウト特性について論じた。伝送方式には高周波帯での電磁界共鳴方式を採り、等価回路モデルに基いて伝送効率の解析を行い、モデルと電磁界解析結果との整合性を確認するとともに、高周波帯の利用が伝送効率の向上に有効であることが示された。