次世代LSIプロセス·材料開発に活きる超精密製造·計測技術開発－光技術と精密機械技術の協働による次世代原子スケール生産技術開拓

摘要

熊本大学を中心に熊本地域で開発した非共振型超音波モーター技術は、削りかすパーティクルの出ない超精密長寿命性能の超音波モーターを実現させ、半導体等の精密製造·計測技術に新たな革命をもたらした。その量産技術への代表的な応用例として、触覚センサープロセス、グラフェン新材料開発、原子レベル酸化超薄膜欠陥検査について紹介し、次世代LSIプロセス·材料開発における日本の科学技術の方向性を示したい。