半導体工場における設備エネルギー換算係数

摘要

以上のエネルギー換算係数をまとめた結果を表11に示す。 各々の係数と工場の諸元より工場の消費エネルギーが概算できる。 実際は、設備システムが複雑に関係する部分があるが、概ね、半導体工場の消費エネルギーのベンチマークのために供する資料となりうると考えられる。