クリーンルーム内における静電気障害

摘要

4分野の静電気障害の実例を概説しご参考に供した。 デバイス微細設計の急速な進展は、今後とも新たな静電気障害を引き起し、個人的な対応が困難とをり、大手半導体企業ですら、新ESD事象に戸惑っている事例もある。また大手社でも組織の統廃合の結果、静電気対策への情報の蓄積、継承が出来ず、散逸状況が発生している。 そこで今後は、静電気対策への情報の蓄積、継承と共に、急速な微細化対応の静電気対策技術の拡大には同業企業間のみならず、GMRのような静電気対策の先行分野企業とのコラボレーションも重要である。