エアシャワーの構造及び性能指針（案）JACA No. 44

摘要

本指針は，クリーンルームで用いるエアシヤワーの構造及び性能について規定する。 エアシャワーの設置する目的は，入室者の衣服及び物品の表面などに付着している比較的大粒径の粒子を高速気流により除去すると共に，クリーンルーム内外の空気のクロスコンタミネーションを避けることである。 本指針では，エアシャワーの構造を，入室経路と気流吹出方式，清浄度，気流の風速·風量により分類した。 エアシャワーの性能は，表面に付着している粒子の除去性能から，総合的に評価すべきであるが，現状では評価結果にばらつきが生じるため除去性能に影響する要素について評価される場合が多い。本指針では, 吹出空気の風量と清浄度, ノズルの特性として吹出気流の速度，変動風，気流の指向性についで性能評価方法を示している。除去性能の概要については附属書1に，除去性能の評価方法の具体例，除去時間と除去効果, 風速と風量の関係，気密性能については解説で述べている。 本指針において微生物の除去性能については扱っていない。 また，エアシャワーの運転方法·電気的仕様，静電気特性などについては，本指針に含めていない。