除去液を噴霧した排気ガス中IPA（Isopropyl alcohol）除去処理技術の開発

摘要

近年、排気ガス中の揮発性有機化合物（VOC：Volatile Organiccompound）による大気汚染が問題となっている。代表的なVOCであるIPA（IsopropylAIcohol）は半導体工場において純水で洗浄された半導体材料を乾燥させる工程で使用されている。微量な純永が付着した半導体材料をIPA蒸気雰囲気中にさらす事で純水を吸収除去し、半導体材料表面を乾燥させる事ができる。このIPA蒸気乾燥法は広く用いられているが、IPAは排気ガスとして大気中に放出されてしまう。これまで、排気ガス中のIPAに対しては水による吸収後の廃液処理や微生物分解処理が行われてきた。、このような従来法では、多量を廃水処理が必要と登り、また、建査は分解されるので再利用できない。そのため、IPAを除去液で吸収した後、除去液の再生とIPAの回収が可能な技術の開発について検討を行った。