タりーンルームおよび関連する制御環境空気中の金属の測定方法

摘要

この附属書は、クリーンルームおよび関連する制御環境空気中の分子状汚染物質（Airborne Molecular Contaminant；AMC）のうち、金属類（Metals）の測定方法について規定する。 この附属書で用いる主な用語の定義は、JIS K 0211（分析化学用語（基礎部門））、JIS Z 8122（コンタミネーションコントロール用語）及びJIS Z 8402（分析·試験の許容差通則）による。 インピンジャーおよび配管などの接続部分の材質は測定成分の性質を考慮して化学反応、吸着、汚染などにより、測定成分の分析結果に影響を与えないものを選択する。 インピンジャーの材質としては、石英、またはPTFEなどのふっ素系ポリマー製が望ましい。 インピンジャー間、インピンジャーと吸引ポンプ間の配管は測定成分の分析結果に影響を与えないPFAなどのポリマーが望ましい。