タリーンルームおよび関連する制御還境空気中の塩基性物質の測定方法

摘要

この附属書は、クリーンルームおよび関連する制御環境空気中の分子状汚染物質（Airborne Molecular Contaminant；AMC）のうち、塩基性物質（Bases）の測定方法について規定する。 塩基性物質のうちアミン類については附属書3に従っても良い。また、アンモニアの測定ではアンモニア自動分析計を用いることもできる。 この附属書で用いる主な用語の定義は、JIS K 0211（分析化学用語（基礎））、JIS K 0214（分析化学用語（クロマトグラフィー部門））、JIS Z 8122（コンタミネーションコントロール用語）及びJIS Z 8402（分析·試験の許容差通則）による。 塩基性物質とは腐食性を有する電子対供与体化合物であって、アンモニア、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、トリメチルアミン、トリエチルアミン、モノエタノールアミン、ヘキサメチルジシラザン、N-メチル-2-ビロリドン、シクロへキシルアミン、などのアミン化合物である。