特集にあたって

摘要

過去40年以上にわたってクリーンルームの技術は半導体産業用途で牽引されてきた。この間半導体産業は拡大を続け、今や産業のコメとも称される世界を築いている。半導体は技術進歩の激しい産業で、トランジスタ、IC、LSIと名称が変わったように時代と共に集積度を上げることで機能が高まり、広範囲の産業に利用範囲が広がった。その背景には微細加工技術の進歩や歩留まりの向上が挙げられる。