ワリーンルームの性能試験方法指針（案）

摘要

JACA No.24クリーンルームの性能評価指針については制定後且5年以上が経過し、現状のクリーンルーム施設に対して適合しない点も多くあるものと考えられる。 また、ISO TC／209においては、ISO14644－3として性能評価方法に関する規格作成作業が行われており、クリーンルーム要求事項の現状に合わせた指針が必要とされた。 そこで、平成且3年3月よりJACA No.14C、24、27クリーンルーム関連3指針改正原案作成委員会の中でWG1としてク＿りごンルニムの性能評価方法について審議を行ってきた。 本指針は、ISO14644-3及びJACA No.24に基づき、新たに試験項目を中心とした性能評臓指針として作成した。 なお、本指針で取り上げていない項目は、JACA No.24の各項目を参照のこと。 この項目については、附属書Cで述べている。 関連する項目として、JACANo.14C、JACA No.27、JACA No.4且を参照のこと。 クリーンルームの清浄度、クリーンルームの気流、クリーンルームの環境条件、エアフィルタの漏洩試験に関しては、ISO 14644-3を参照し、改正した。