プラスチックス表面に機能性セラミック薄膜を作製するための新しいゾル－ゲル成膜技術

摘要

フレキシブル電子デバイスの製造に関する技術分野や、ガラスをより軽量なプラスチックスで代替しようとする各種技術分野において、プラスチックス表面に機能性セラミック薄膜を作製する技術が強く求められている。ここでいうセラミック薄膜は、概ね厚さ1μm以下の結晶性金属酸化物薄膜である。セラミック薄膜に求められる機能の代表的なものに電気伝導性、強誘電性、圧電性が挙げられるが、これらの機能が発現するためには薄膜が非晶質ではなく結晶であることが必要である。