デジタル家電と特殊鋼：III.デジタル家電に関わる特殊鋼－2.製造設備 (4)液晶ノズル

摘要

薄型テレビ、パソコン、携帯電話、カーナビ、等々、液晶の用途は益々広がりを見せている。 最近では特に薄型テレビの大型化が急速に進み、今やフラットパネルディスプレイ(FPD)の代表格として脚光を浴び、又電子機器の表示器として急成長している。 電子機器の画像表示には、その殆どが液晶ディスプレイ(LCD)が使われておりデータ処理した結果を出力する表示器として最適なものと言われている。 この液晶ディスプレイは、その構造上からカラーフィルター(CF)、薄型トランジスターアレイ(TFT)他から構成される。 CF、TFTアレイを作る過程において、ガラス基板上にフォトレジストを塗布する工程があり、ここで使われる塗布装置の重要な部分としてスリットノズル（呼称は複数ある）が使われている。