超精密·微細加工を支える周辺技術：高精度温調技術の実際

摘要

近年，半導体製造装置，液晶製造装置，超精密加工機等ナノオーダ対応がトレンドとなり，ワーク素材や製造装置の熱変動における伸縮膨張が歩留まりに大きな影響を与えることが明白であり，これを最小限度に押さえ込むための高精度温調技術として，制御幅は1/100°Cでの対応が不可欠になりつつある．この制御幅の高精度温調装置をすでに市場投入開始しているが，とくに半導体製造装置に代表されるよう高集積化に歯止めが利かない状況において，高精度温調技術にもさらなる進化を遂げなければならず，具体的には1000分台の温調までをターゲットとした高精度温調技術と最新の技術動向について紹介する．