レーザ加工光学系に関する研究－第1報：全光学系を考慮した伝搬と切断特性

摘要

レーザシステムの光学系は，大きく分類して共振器，外部光学系，集光系からなる．レーザビームの伝搬特性および集光特性はこれらのシステム全体の光学系によって決まるものである．とくに集光特性はレンズなどの集光光学系に入ってくるビームの特性に大きく依存する．したがって，昨今の加工の高精度化や微細化に絡hで，これら全体の系を考慮したビーム特性を把握することが重要となってきた．ビーム伝搬·集光の式を用いて，実際の加工機の設計数値を基に実ビームの計算と測定をおこない，光路長の違いからくるいくつかの加工特性を検討した．