熱可塑性ポリエステルフィルム基材利用のラッピングテープの開発

摘要

熱可塑性ポリエステルフィルムを基材として使用して，砥粒コーティング後に型押しを行うことによって研磨作業面に凹凸のあるパターンを転写する新しいラッピングテープを開発し，これまでにそのラッピングテープは従来のものに比べて研磨能率を向上できることがわかった．本報ではより効果的なパターン形状を追求するために種々の研磨特性を明らかにした結果を報告する。