小径レンズ金型の超精密ELIDマイクロ研削加工

摘要

超精密非球面加工機に取り付けた斜軸砥石回転軸を利用した超精密研削加工法に対して，超精密研削法の1つであるELID研削法を複合させた小径非球面レンズ金型加工法を検討した．高剛性の小径工具を安定して用いることのできるELIDマイクロ研削法と，砥石摩耗が形状誤差に及ぼす影響を低減できる3軸同時制御による斜軸砥石加工に焦点を当てた．その結果，形状精度および面精度ともに良好な超精密ELIDマイクロ研削加工を行うことができた．