アモルファスSiC被覆超硬工具によるアルミニウム合金の切削

摘要

本研究では，高い平滑性および低摩擦特性を有する非晶質炭化珪素（アモルファスSiC）皮膜の切削工具への適用を試みた．ヘリコンスパック（誘導結合RFプラズマ支援マグネトロンスパッタ）法によって超硬K種スローアウェイチップのすくい面にアモルファスSiCを1μm被覆した工具を試作した．アルミニウム合金の連続旋削試験を行い，ノンコート超硬工具およびDLC被覆超硬工具との間で耐凝着性の比較を行った．本研究の範囲では，アモルファスSiC被覆工具は，乾式切削時にDLC被覆工具と同等程度の耐凝着性を有することがわかった．また，皮膜剥離強度の改善を目的として，異なる表面処理を施した超硬工具母材上に皮膜をコーティングし，圧痕試験を行った結果，皮膜強度に関して最適表面粗さが存在することがわかった．